久久福利影视-久久成人综合网-久久成人亚洲-久久成人性色生活片-免费的黄色小视频-免费的黄视频

400 011 5161

當前位置:首頁  >  技術文章  >  掃描電子顯微鏡的原理結構

掃描電子顯微鏡的原理結構

更新時間:2022-09-05      點擊次數:1824
  掃描電子顯微鏡具有由三極電子槍發出的電子束經柵極靜電聚焦后成為直徑為50mm的電光源。在2-30KV的加速電壓下,經過2-3個電磁透鏡所組成的電子光學系統,電子束會聚成孔徑角較小,束斑為5-10mm的電子束,并在試樣表面聚焦。末級透鏡上邊裝有掃描線圈,在它的作用下,電子束在試樣表面掃描。高能電子束與樣品物質相互作用產生二次電子,背反射電子,X射線等信號。這些信號分別被不同的接收器接收,經放大后用來調制熒光屏的亮度。由于經過掃描線圈上的電流與顯象管相應偏轉線圈上的電流同步,因此,試樣表面任意點發射的信號與顯象管熒光屏上相應的亮點一一對應。也就是說,電子束打到試樣上一點時,在熒光屏上就有一亮點與之對應,其亮度與激發后的電子能量成正比。換言之,掃描電鏡是采用逐點成像的圖像分解法進行的。光點成像的順序是從左上方開始到右下方,直到最後一行右下方的像元掃描完畢就算完成一幀圖像。這種掃描方式叫做光柵掃描。
  掃描電子顯微鏡由電子光學系統,信號收集及顯示系統,真空系統及電源系統組成。
 ?。ㄒ韵绿岬綊呙桦娮语@微鏡之處,均用SEM代替)真空系統主要包括真空泵和真空柱兩部分。真空柱是一個密封的柱形容器。
  真空泵用來在真空柱內產生真空。有機械泵、油擴散泵以及渦輪分子泵三大類,機械泵加油擴散泵的組合可以滿足配置鎢槍的SEM的真空要求,但對于裝置了場致發射槍或六硼化鑭槍的SEM,則需要機械泵加渦輪分子泵的組合。
  成像系統和電子束系統均內置在真空柱中。真空柱底端即為右圖所示的密封室,用于放置樣品。
  之所以要用真空,主要基于以下兩點原因:
  電子束系統中的燈絲在普通大氣中會迅速氧化而失效,所以除了在使用SEM時需要用真空以外,平時還需要以純氮氣或惰性氣體充滿整個真空柱。
  為了增大電子的平均自由程,從而使得用于成像的電子更多。電子光學系統由電子槍,電磁透鏡,掃描線圈和樣品室等部件組成。其作用是用來獲得掃描電子束,作為產生物理信號的激發源。為了獲得較高的信號強度和圖像分辨率,掃描電子束應具有較高的亮度和盡可能小的束斑直徑。
  <1>電子槍
  其作用是利用陰極與陽極燈絲間的高壓產生高能量的電子束。目前大多數掃描電鏡采用熱陰極電子槍。其優點是燈絲價格較便宜,對真空度要求不高,缺點是鎢絲熱電子發射效率低,發射源直徑較大,即使經過二級或三級聚光鏡,在樣品表面上的電子束斑直徑也在5-7nm,因此儀器分辨率受到限制。現在,高等級掃描電鏡采用六硼化鑭(LaB6)或場發射電子槍,使二次電子像的分辨率達到2nm。但這種電子槍要求很高的真空度。
  <2>電磁透鏡
  其作用主要是把電子槍的束斑逐漸縮小,是原來直徑約為50mm的束斑縮小成一個只有數nm的細小束斑。其工作原理與透射電鏡中的電磁透鏡相同。掃描電鏡一般有三個聚光鏡,前兩個透鏡是強透鏡,用來縮小電子束光斑尺寸。第三個聚光鏡是弱透鏡,具有較長的焦距,在該透鏡下方放置樣品可避免磁場對二次電子軌跡的干擾。
  <3>掃描線圈
  其作用是提供入射電子束在樣品表面上以及陰極射線管內電子束在熒光屏上的同步掃描信號。改變入射電子束在樣品表面掃描振幅,以獲得所需放大倍率的掃描像。掃描線圈試掃描點晶的一個重要組件,它一般放在最后二透鏡之間,也有的放在末級透鏡的空間內。
  <4>樣品室
  樣品室中主要部件是樣品臺。它出能進行三維空間的移動,還能傾斜和轉動,樣品臺移動范圍一般可達40毫米,傾斜范圍至少在50度左右,轉動360度。樣品室中還要安置各種型號檢測器。信號的收集效率和相應檢測器的安放位置有很大關系。樣品臺還可以帶有多種附件,例如樣品在樣品臺上加熱,冷卻或拉伸,可進行動態觀察。近年來,為適應斷口實物等大零件的需要,還開發了可放置尺寸在Φ125mm以上的大樣品臺。其作用是檢測樣品在入射電子作用下產生的物理信號,然后經視頻放大作為顯像系統的調制信號。不同的物理信號需要不同類型的檢測系統,大致可分為三類:電子檢測器,應急熒光檢測器和X射線檢測器。在掃描電子顯微鏡中普遍使用的是電子檢測器,它由閃爍體,光導管和光電倍增器所組成。
  當信號電子進入閃爍體時將引起電離;當離子與自由電子復合時產生可見光。光子沿著沒有吸收的光導管傳送到光電倍增器進行放大并轉變成電流信號輸出,電流信號經視頻放大器放大后就成為調制信號。這種檢測系統的特點是在很寬的信號范圍內具有正比與原始信號的輸出,具有很寬的頻帶(10Hz-1MHz)和高的增益(105-106),而且噪音很小。由于鏡筒中的電子束和顯像管中的電子束是同步掃描,熒光屏上的亮度是根據樣品上被激發出來的信號強度來調制的,而由檢測器接收的信號強度隨樣品表面狀況不同而變化,那么由信號監測系統輸出的反營養品表面狀態的調制信號在圖像顯示和記錄系統中就轉換成一幅與樣品表面特征一致的放大的掃描像。
主站蜘蛛池模板: 美女三级毛片-美女牲交视频一级毛片无遮挡-美女视频大全视频a免费九-美女视频黄a视频全免费网站色窝-美女视频黄的全是免费-美女视频秀色福利视频 | 亚洲另类电击调教在线观看-亚洲理论片在线中文字幕-亚洲看黄-亚洲卡一卡2卡三卡4麻豆-韩国xxxxx视频在线-韩国mmwutv福利视频 | 国产久操视频-国产久草视频-国产久热精品-国产久热香蕉在线观看-青青青青娱乐-青青青青在线成人视99 | 欧美日本一道免费一区三区-欧美日本一道高清二区三区-欧美日本一道道一区二区三-欧美日本亚洲国产一区二区-在线观看黄的网站-在线观看国内自拍 | 四虎影视永久免费观看网址-四虎影视永久地址www成人污-四虎影视网站-四虎影视网-日韩欧美高清色码-日韩欧美国产免费看清风阁 | 亚洲六月丁香婷婷综合,久久精品亚洲精品国产欧美,玖玖精品视频在线,国产日本精品,www成人在线观看,精品日产一区二区 | 国产三级在线观看视小说-国产三级在线观看视频不卡-国产三级在线观看视频-国产三级在线观看免费-西瓜视频网页版-西瓜视频全部免费观看大全 | 热久久久久久-热久久久久久久-热久久免费-热久久视久久精品18国产-国产欧美日韩网站-国产欧美日韩亚洲 | 日本在线一区二区三区-日本中出视频-日本中文不卡-日本中文视频-日本中文在线-日本中文在线播放 国产欧美日韩精品一区二区三区-国产欧美日韩精品一区二-国产欧美日韩精品高清二区综合区-国产欧美日韩精品第三区-天天舔天天操天天干-天天添天天干 | 欧美日韩亚洲一区二区三区在线观看-欧美日韩亚洲第一区在线-欧美日韩亚洲成人-欧美日韩午夜群交多人轮换-bbwvideos欧美老妇-bbwvideoa欧美老妇 | 日操夜操天天操-午夜日日日日日日日日日-亚洲欧洲精品无视频一区二区三区四-国产成人精品无码-婷婷福利综合网-日逼影视 | 热久久久久久-热久久久久久久-热久久免费-热久久视久久精品18国产-国产欧美日韩网站-国产欧美日韩亚洲 | 亚洲 日韩 色 图网站-亚洲 图片 另类 综合 小说-亚洲 无码 欧美 经典-亚洲 校园 春色 另类 图片-亚洲 校园 欧美 国产 另类-亚洲 在线 成 人色色 | 精品国产互换人妻麻豆-精品国产经典三级在线看-精品国产精品人妻久久无码五月天-精品国产九九-精品国产剧情AV在线观看-精品国产露脸久久AV麻豆 | 久 在线播放-九月婷婷人人澡人人添人人爽-九月婷婷人人澡人人爽人人爱-九月丁香婷婷亚洲综合色-天天干天天射天天-天天干天天色综合网 | 久久久精品国产sm最大网站-久久久精品国产免大香伊-久久久精品国产免费A片胖妇女-久久久精品久久久久久96-久久久精品久久久久久久久久久-久久久精品久久日韩一区综合 | 视频免费观看网址-视频免费观看视频-视频免费观看入口大全-视频免费1区二区三区-国产成人尤物精品一区-国产成人悠悠影院 | 六月婷婷国产精品综合-六六影院午夜伦理-六级黄色片-六度影院最新-最近的2019中文字幕国语完整版-最近的2019中文字幕国语版 | 在线观看亚洲-在线观看网址-在线观看网站黄-在线观看网站国产-久久国产一区二区三区-久久国产一区二区 | 99只有精品-99这里只有精品在线-99这里只有精品视频-99这里只有精品66视频-欧美国产视频-欧美国产日韩综合 | 久久99精品久久久久久噜噜噜-久久99精品久久久久久噜噜丰满-久久99精品久久久久久噜噜-久久99精品久久久久久久野外-午夜精品人妻无码一区二区三区-午夜精品免费 欧美日韩在线成人免费-欧美日韩在线成人看片a-欧美日韩在线不卡-欧美日韩在线播放-自拍偷拍三级-自拍偷拍欧美亚洲 | 亚洲 欧美 日韩 在线,97热久久免费频精品99国产成人,另类激情亚洲,久久99九九精品免费,久久综合精品国产一区二区三区,2020精品极品国产色在线观看 | 波多野在线-波多野衣结在线精品二区-波多野一区二区三区在线-波多野一区二区-波多野一区-波多野结在线 | 竹菊影视一区二区三区-竹菊一区二区-竹菊一区-重口味调教-另类小说h-另类小说 成 人 色综合 | 波多野结衣在线中文-波多野结衣在线影视免费观看-波多野结衣在线影视-波多野结衣在线一区二区-波多野结衣在线一区-波多野结衣在线网址 | 天天插天天搞,国产99在线,九七视频在线观看,2020国产成人精品视频网站,日本久久网,人人澡人人澡人人看青草 | 亚洲A片一区日韩精品无码-亚洲H成年动漫在线观看不卡-亚洲VA欧美VA天堂V国产综合-亚洲VA天堂VA欧美片A在线-亚洲爆乳精品无码AAA片-亚洲不卡高清免v无码屋 | 欧美一区二区三区香蕉视-欧美一区二区三区网站-欧美一区二区三区四区在线观看-欧美一区二区三区四区五区六区-欧美一区二区三区四区视频-欧美一区二区三区视视频 欧美性xxxxxx性,国产精彩视频在线观看,亚洲欧美视屏,久艹网,国产日韩欧美中文,亚洲欧美经典 | 一区二区三区欧美日韩-一区二区三区欧美-一区二区三区免费在线视频-一区二区三区免费在线观看-久久精品店-久久精品第一页 | 爆乳无码一区二区三区-爆乳熟妇一区二区三区霸乳-爆乳熟妇一区-爆乳少妇在办公室在线观看-爆乳护士一区二区三区在线播放-白丝一区二区三区 | 国产精品v免费视频-国产精品v毛片免费看观看-国产精品v户外野战-国产精品vr无码专区-国产精品va在线观看无码-国产精品va在线观看丝瓜影院 | 国产精品福利在线观看入口-国产精品福利在线观看秒播-国产精品福利在线观看免费不卡-国产精品福利一区二区亚瑟-四虎免费入口-四虎免费看片 | 一级毛片在线看-一级毛片在线播放免费-一级毛片一级毛片免费毛片-一级毛片一级毛片-九九51精品国产免费看-九号影院 | 伊人久久综合成人亚洲-伊人久久综合-伊人久久中文字幕久久cm-伊人久久中文大香线蕉综合-久久国产香蕉-久久国产视频网站 | 亚洲六月丁香婷婷综合,久久精品亚洲精品国产欧美,玖玖精品视频在线,国产日本精品,www成人在线观看,精品日产一区二区 | 欧美黄色网址-欧美黄色特级视频-欧美黄色片在线播放-欧美黄色片免费观看-99看片网-99看片 | 久久久久久久久久久久久久,免费福利资源站在线视频,午夜精品久久久久久影视riav,黄色的视频免费观看,国产人成免费视频,国产福利小视频 | 7788理论片在线观看-7788av-777午夜精品免费播放-777奇米影视一区二区三区-蜜桃传媒在线-蜜桃成熟时1997在线看免费看 | 五月天在线观看免费视频播放,人人草人人,色视频综合,狠狠色婷婷丁香六月,五月婷婷六月丁香综合,开心激情综合网 | 国产久操视频-国产久草视频-国产久热精品-国产久热香蕉在线观看-青青青青娱乐-青青青青在线成人视99 | 佐藤遥希在线播放一二区-佐山爱巨大肥臀在线-佐山爱痴汉theav-佐良娜被爆漫画羞羞漫画-麻豆视频传媒二区-麻豆视频传媒 |